기존의 광학 계측 장비는 큰 부피와 복잡한 제조 공정으로 인해 소형화 및 비용 절감에 어려움이 있었습니다. 본 발명은 이러한 한계를 극복하는 혁신적인 계측 장치 및 마이크로튜브 제조 방법을 제시합니다. 본 기술은 미세유체나 부유 입자의 물성을 정밀하게 계측하기 위한 소형 장치입니다. 핵심 구성 요소는 미세유체를 담는 마이크로튜브, 진동을 가하는 액추에이터, 그리고 그 진동을 전류 신호로 변환하는 튜닝 포크입니다. 특히, 광학 장비를 튜닝 포크로 대체하여 장비의 크기를 획기적으로 줄였으며, 이는 다른 시스템으로의 이식 및 진공 패킹을 용이하게 합니다. 또한, 마이크로튜브는 유리모세관을 레이저 히팅 후 인장하는 소성가공을 통해 제조됩니다. 이 독자적인 제조 방식은 기존 MEMS 공정보다 공정이 단순하여 제조 단가를 절감하고 생산 수율을 대폭 향상시키는 장점이 있습니다. 본 장치는 미세유체 밀도 측정, 미세 입자 분석, 전기 이온 분극 등 다양한 분야에 적용될 수 있어, 바이오, 의료 및 정밀 측정 산업 발전에 크게 기여할 것으로 기대됩니다.