기존의 광학 계측 장비는 큰 부피와 복잡한 제조 공정으로 인해 소형화 및 비용 절감에 어려움이 있었습니다. 본 발명은 이러한 한계를 극복하는 혁신적인 계측 장치 및 마이크로튜브 제조 방법을 제시합니다. 본 기술은 미세유체나 부유 입자의 물성을 정밀하게 계측하기 위한 소형 장치입니다. 핵심 구성 요소는 미세유체를 담는 마이크로튜브, 진동을 가하는 액추에이터, 그리고 그 진동을 전류 신호로 변환하는 튜닝 포크입니다. 특히, 광학 장비를 튜닝 포크로 대체하여 장비의 크기를 획기적으로 줄였으며, 이는 다른 시스템으로의 이식 및 진공 패킹을 용이하게 합니다. 또한, 마이크로튜브는 유리모세관을 레이저 히팅 후 인장하는 소성가공을 통해 제조됩니다. 이 독자적인 제조 방식은 기존 MEMS 공정보다 공정이 단순하여 제조 단가를 절감하고 생산 수율을 대폭 향상시키는 장점이 있습니다. 본 장치는 미세유체 밀도 측정, 미세 입자 분석, 전기 이온 분극 등 다양한 분야에 적용될 수 있어, 바이오, 의료 및 정밀 측정 산업 발전에 크게 기여할 것으로 기대됩니다.

기존 고분자 공진기는 단일 재료 사용으로 형상 제작의 한계와 자유도 부족 문제가 있었습니다. 본 발명은 이러한 문제점을 해결하고자 고분자 공진 구조물 및 그 제조방법을 제시합니다. 본 기술은 고분자 재료를 복합 재료 또는 분리된 공정으로 활용하여 공진기를 생산하며, 자외선 경화 수지를 이용해 미세 구조까지 제작이 용이하고 형상 자유도가 매우 높은 것이 특징입니다. 특히, 자외선 경화 방식 적용으로 공정 속도가 빨라져 신속한 생산이 가능합니다. 이로써 다양한 형태의 고분자 공진기를 효율적으로 제작할 수 있는 혁신적인 솔루션을 제공합니다.

기존 원자현미경 프로브 몰드 제조는 팁 곡률반경 문제로 해상도 저하를 겪었습니다. 본 발명은 이러한 한계를 극복하기 위해 혁신적인 원자현미경 프로브 사출용 몰드 및 제조 방법을 제안합니다. 금속층 1차 전사와 탄성 실리콘 2차 전사를 통해 팁 곡률반경을 획기적으로 줄여 원자현미경의 해상도를 극대화합니다. 또한, 모세관 힘을 활용한 주입구 설계로 프로브 형성 물질의 주입 효율을 대폭 향상시킵니다. 이 기술은 고성능 AFM 프로브 생산의 생산성과 정밀도를 동시에 높여 연구 및 산업 현장의 요구를 충족시킵니다.

기존 고체 기반 전자회로는 유연성 및 신축성 웨어러블 기기 구현에 한계가 있으며, 액체 금속의 미세 패턴 형성 또한 난제였습니다. 본 발명은 스트레칭 가능한 기판에 액체 금속을 프린팅 후 늘려 패턴 폭을 줄이고, 상변화 및 이송을 통해 마이크로급 초미세 패턴을 구현하는 혁신적인 액체 금속 패터닝 방법과 장치를 제안합니다. 이 기술은 유연한 기판 위에서도 안정적이고 균일한 패턴 형성을 가능하게 하며, 기존 한계를 넘어선 단일 자릿수 마이크로 패턴 구현을 통해 플렉서블 전자회로 및 웨어러블 디바이스 개발에 핵심적인 기여를 합니다.