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나노 소자의 미세한 동작 및 열 변화를 정확히 측정하는 데 기존 열 영상화 기법은 분해능, 비용, 측정 시간 등 다양한 한계를 가지고 있습니다. 본 발명은 이러한 문제점을 해결하고자 인디케이터를 활용한 획기적인 광학 현미경 기술을 제안합니다. 이 현미경은 빛을 원편광시켜 조사 대상에 입사하고, 대상의 열에 의해 인디케이터에서 발생하는 열응력 변화를 광학적으로 분석하여 열 분포를 실시간으로 영상화합니다. 특히, 경제적인 유리 인디케이터와 저렴한 광학 센서를 사용하여 비용 효율적이며, 수 밀리 켈빈(mK) 수준의 높은 감도로 미세 소자의 열적 특성을 정밀하게 분석할 수 있습니다. 이 기술은 소자 구동 방식 조사 및 신뢰성 검증에 큰 기여를 할 것으로 기대됩니다.
| 기술명 | |
| 인디케이터를 이용한 광학 현미경 | |
| 기관명 | |
| 서강대학교산학협력단 | |
| 대표 연구자 | 공동연구자 |
| 이기진 | - |
| 출원번호 | 등록번호 |
| 1020150031504 | 1016928690000 |
| 권리구분 | 출원일 |
| 특허 | 2015.03.06 |
| 중요 키워드 | |
열 분포고분해능광탄성 효과고감도 측정2차원 응력 분석온도 측정나노 소자소자 신뢰성현미경 기술광학 현미경인디케이터열 영상비침습 진단마이크로 소자열화상 카메라영상기기광학기기 | |
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